招標正文

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公告概要：

　　 (略) 有限公 (略) 上 (略) 的委托，就“張江實驗室（ (略) 上 (略) ）硅光子市級重大專項 * mm硅光中試平臺拓展和成套工藝開發(fā)晶圓自動清洗系統(tǒng)和晶圓片噴霧清洗設備采購項目”項目（項目編號： *** ）組織采購，評標工作已經(jīng)結(jié)束，中標結(jié)果如下：

* 、項目信息

項目編號： ***

項目名稱：張江實驗室（ (略) 上 (略) ）硅光子市級重大專項 * mm硅光中試平臺拓展和成套工藝開發(fā)晶圓自動清洗系統(tǒng)和晶圓片噴霧清洗設備采購項目

項目聯(lián)系人：趙麗莉

聯(lián)系方式： * - * - *** × *

* 、采購單位信息

采購單位名稱： (略) 上 (略)

采購單位地址： (略) 市 (略) 區(qū)?？坡?* 號

采購單位聯(lián)系方式：陳潔 ***

* 、項目用途、簡要技術(shù)要 (略) 日期：

本次采購貨物為：晶圓自動清洗系統(tǒng)： * 臺/套，用于高溫氮化硅介質(zhì)膜熱生長、 * 氧化硅介質(zhì)膜熱生長工藝前的清洗，化學液包括DHF、SPM、SC1、SC2；晶圓片噴霧清洗設備： * 臺/套，用于干法刻蝕、離子注入去膠后的清洗，化學液包括DHF、SPM、SC1。

* 、采購代理機構(gòu)信息

采購代理機構(gòu)全稱： (略) 有限公司

采購代理機構(gòu)地址：中國 (略) 西路 * 號美麗園大廈 * 樓

采購代理機構(gòu)聯(lián)系方式：趙麗莉 * - * - *** × *

* 、中標信息

招標公告日期： * 日

中標日期： * 日

總中標金額： * .0 萬元（人民幣）

中標供應商名稱、聯(lián)系地址及中標金額：

本項目招標代理費總金額：5. * 萬元（人民幣）

本項目招標代理費收費標準：

根據(jù)國家發(fā)改委 * 號文貨物類標準收費下浮 * %后收取。

評審專家名單：

沈培堅、談進、張惠芬、張軒雄、李斌

中標標的名稱、規(guī)格型號、數(shù)量、單價、服務要求：

晶圓自動清洗系統(tǒng)： * 臺/套；規(guī)格型號：Bpure-WE * AHF ： *** . * 元；

晶圓片噴霧清洗設備： * 臺/套；規(guī)格型號：Bpure-WC * ARC: *** . * 。

* 、其它補充事宜

溫馨提示：本招標項目僅供付費會員查閱，您的權(quán)限不能瀏覽詳細信息,聯(lián)系工作人員辦理會員入網(wǎng)事宜，成為正式會員后方可獲取詳細的招標公告、報名表格、項目附件及部分項目招標文件等。
聯(lián)系人：郝工
電話：010-68960698
郵箱：1049263697@qq.com