一、微電子企業(yè)日常保潔特殊性

電子企業(yè)、微電子企業(yè)是當(dāng)前對(duì)潔凈級(jí)別要求最高的企業(yè)，按照潔凈程度不同，可分為普通區(qū)域和受控潔凈區(qū)、潔凈室、氣閘室等。對(duì)普通區(qū)域的保潔，按照通常的寫(xiě)字樓的要求 進(jìn)行即可，而對(duì)于受控潔凈區(qū)、潔凈室、氣閘室等潔凈級(jí)別較高的區(qū)域就必須有相應(yīng)的專業(yè)知識(shí)和相應(yīng)的工藝技術(shù)才能做好保潔服務(wù)。下面，就受控潔凈區(qū)、潔凈室的日常保潔做一些 論述。

二、微電子企業(yè)潔凈室設(shè)計(jì)理念

（一）  潔凈室的基本概念

潔凈技術(shù)是通過(guò)工程技術(shù)方面的各種設(shè)施和嚴(yán)格管理，使室內(nèi)微粒子含量、氣流、壓力等控制在一定范圍內(nèi)，這種房間空間稱為潔凈室。

（二）  空氣中的微粒子

空氣中的微粒子有生物粒子和顆粒物，它們使微電子生產(chǎn)過(guò)程、制藥過(guò)程中產(chǎn)生靜電， 并且污染產(chǎn)品，造成產(chǎn)品的缺陷；在醫(yī)院手術(shù)室中的污染會(huì)導(dǎo)致手術(shù)失敗，危及生命。因此空氣中的微粒子是潔凈控制區(qū)主要的清除對(duì)象。電子企業(yè)的防靜電、防塵要求級(jí)別越高，空 氣中允許的微粒子含量就越低。下面我們就來(lái)認(rèn)識(shí)一下空氣中的微粒子。

1.       生物粒子

(1)    細(xì)菌、藻類：藻類與其他微生物的不同之處在于，它能進(jìn)行光合作用。藻類在污 染控制和潔凈室領(lǐng)域一般不是問(wèn)題。

(2)    真菌類：在污染控制和潔凈室領(lǐng)域，真菌是第二大微生物污染源，并會(huì)成為一種 嚴(yán)重威脅。真菌與大多數(shù)細(xì)菌相比，對(duì)養(yǎng)分的要求更簡(jiǎn)單，并能夠在沒(méi)有大量水的條件下生長(zhǎng)。

(3)    病毒：病毒在微生物中處在很獨(dú)特的位置。因?yàn)榘凑找话闼邮艿母拍?，不能?其分類為活的有機(jī)生物。它們的構(gòu)造相當(dāng)簡(jiǎn)單，常常是由一層蛋白質(zhì)內(nèi)的單個(gè)DNA和RNA 分子組成，比微生物小得多。

(4)    原生物：由于原生物差不多總是與天然形成的水環(huán)境相關(guān)聯(lián)，所以它們?cè)谖廴究?制和潔凈室領(lǐng)域無(wú)足輕重。

2.       顆粒物

顆粒物（particulate matter)又稱塵，是大氣中的固體或液體顆粒狀物質(zhì)。顆粒物可分為一次顆粒物和二次顆粒物。一次顆粒物是由天然污染源和人為污染源釋放到大氣中直接造 成污染的顆粒物，例如土壤粒子、海鹽粒子、燃燒煙塵等。二次顆粒物是由大氣中某些污染氣體組分（如二氧化硫、氮氧化物、碳?xì)浠衔锏龋┲g，或這些組分與大氣中的正常組 分（如氧氣）之間通過(guò)光化學(xué)氧化反應(yīng)、催化氧化反應(yīng)或其他化學(xué)反應(yīng)轉(zhuǎn)化生成的顆粒物，例如二氧化硫轉(zhuǎn)化生成硫酸鹽。

電子產(chǎn)品潔凈廠房對(duì)空氣潔凈度和各類雜質(zhì)的控制有嚴(yán)格的要求。半導(dǎo)體集成電路制造是一種高科技制造技術(shù)，為了獲得微電子產(chǎn)品的高質(zhì)量和高成品率，必須嚴(yán)格控制芯片缺 陷。而導(dǎo)致芯片缺陷的因素十分復(fù)雜，其污染源可能來(lái)自空氣中的粒子或加工過(guò)程中使用的各類工藝介質(zhì)中的雜質(zhì)、清洗用純水中的雜質(zhì)以及工具等帶來(lái)的雜質(zhì)污染等。生產(chǎn)環(huán)境控制 就是對(duì)與產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程相關(guān)的各類污染物進(jìn)行控制。其中，對(duì)生產(chǎn)環(huán)境中微粒的控制是十分重要的內(nèi)容。當(dāng)前45nm的極大規(guī)模集成電路已投人生產(chǎn)，要求潔凈室的空氣潔凈度控制在IS01級(jí)或IS02級(jí)，微粒粒徑控制在0.03 pm。隨著集成度的不斷提高、加工尺寸日益微細(xì) 化，集成電路生產(chǎn)過(guò)程不僅對(duì)空氣潔凈度等級(jí)提出越來(lái)越高的要求，也對(duì)整個(gè)產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中微粒的黏附、化學(xué)污染物、芯片的損傷等問(wèn)題提出越來(lái)越高的要求。近年來(lái)的實(shí)踐表明， 帶人潔凈室或潔凈室產(chǎn)生的污染以及空氣中的NO、、SOt、Na+、Cl一等，超細(xì)玻璃纖維制品中的硼和DOP粒子，操作人員自身產(chǎn)生的NH4+、Na+等，潔凈室建造材料散發(fā)的各種有機(jī) 物、金屬離子等，生產(chǎn)過(guò)程使用溶劑、洗滌液散發(fā)的各種化學(xué)污染物等對(duì)生產(chǎn)過(guò)程都有很大的影響。

（三）  潔凈技術(shù)的運(yùn)用

潔凈技術(shù)幫助人類實(shí)現(xiàn)了很多夢(mèng)想，應(yīng)用領(lǐng)域越來(lái)越廣，正發(fā)揮著越來(lái)越大的作用。

1.       微電子工業(yè)

微電子工業(yè)是當(dāng)前對(duì)潔凈室要求最高工業(yè)潔凈業(yè)。此外，如現(xiàn)代工業(yè)中的液晶、光纖等的生產(chǎn)，同樣均有潔凈度的要求。

2.       醫(yī)藥工業(yè)、宇航工業(yè)、精密機(jī)械工業(yè)、儀器儀表工業(yè)、精細(xì)化學(xué)工業(yè)等，也要應(yīng)用到潔凈技術(shù)。

3.       其他機(jī)構(gòu)，如醫(yī)院、醫(yī)學(xué)試驗(yàn)室等也需運(yùn)用潔凈技術(shù)。

三、潔凈室綜合要求與原則

潔凈技術(shù)已在全國(guó)范圍內(nèi)實(shí)施。微電子企業(yè)的生產(chǎn)環(huán)境提出了與工藝過(guò)程相對(duì)應(yīng)的不同潔凈級(jí)別要求，限定了空氣中塵埃粒子的大小和含量；室內(nèi)微粒子含量、氣流、壓力等也需 控制在一定范圍內(nèi)，即要求在潔凈室中進(jìn)行生產(chǎn)。

潔凈室是一項(xiàng)綜合性技術(shù)，作為一個(gè)合理的設(shè)計(jì)，不僅要考慮凈化空調(diào)裝置和設(shè)施，而且在設(shè)計(jì)潔凈室時(shí)，對(duì)于工程選址、工藝布置、典型的潔凈室人身凈化處理的流程，也必須 滿足以下基本要求。

（一）  潔凈室建筑要求

1.       環(huán)境條件

(1)        具有合理的人、材料、機(jī)械的流動(dòng)路線。

(2)        工藝區(qū)域和維修區(qū)域劃分明確。

(3)        有防止外部環(huán)境對(duì)室內(nèi)污染的手段。

2.       靈活性

(1)        適應(yīng)工藝的發(fā)展與擴(kuò)大。

(2)        工藝區(qū)域與維修區(qū)域有調(diào)整的可能。

(3)        建筑間隔的變更與潔凈空間有調(diào)整的可能性。

3.       安全性

(1)        安全通路的設(shè)計(jì)合理。

(2)        有毒藥物的存放安全。

4.       運(yùn)轉(zhuǎn)條件

(1)        防止振動(dòng)的設(shè)計(jì)要求合理。

(2)        防止噪聲的設(shè)計(jì)要求合理。

（二）  潔凈室設(shè)備的要求

1.       環(huán)境妻求

(1)        確保滿足空氣潔凈度的技術(shù)實(shí)施要求。

(2)        滿足溫濕度控制與潔凈度控制手段的一致性的要求。

(3)        能維持室內(nèi)正壓要求，合理確定送、排風(fēng)量。

(4)        發(fā)生有害氣體時(shí)能排放與處理。

(5)        能防止產(chǎn)生振動(dòng)與噪聲。

2.       靈活性：滿足工藝發(fā)展的要求。

3.       安全性

(1)       產(chǎn)生廢品、廢氣的處理設(shè)施完備。

(2)       排煙設(shè)備、消防設(shè)備的設(shè)置與報(bào)警系統(tǒng)完善。

4.       運(yùn)行條件

(1)       有無(wú)備用設(shè)備。

(2)       瞬間停電可防止產(chǎn)生不良后果。

(3)       維護(hù)維修方便。

（三）潔凈室設(shè)計(jì)綜合原則

1.       潔凈工程選址

(1)       周圍環(huán)境較清潔，綠化較好。

(2)       遠(yuǎn)離鐵路、公路、機(jī)場(chǎng)（尤其是有防震要求的潔凈室更要遠(yuǎn)離這些場(chǎng)所）。

(3)       若受條件限制，必須位于工業(yè)污染或灰塵較嚴(yán)重的地區(qū)，應(yīng)處于全年最多風(fēng)向的 上風(fēng)側(cè)。

(4)       各區(qū)路面盡量選用堅(jiān)固、起塵少的材料。

2.       工藝布置

(1)       在不影響生產(chǎn)情況下，應(yīng)盡量將潔凈度要求相同的潔凈室安排在一起。

(2)       室內(nèi)只布置必要的工藝設(shè)備，容易產(chǎn)生灰塵和有害氣體的工藝設(shè)備盡量布置在潔 凈室外部。

(3)       工藝用的易燃、易爆等氣體容器不要設(shè)在潔凈室內(nèi)。

(4)       在同一潔凈室內(nèi)，盡量將潔凈度要求高的工作布置在潔凈氣流首先到達(dá)的區(qū)域。

(5)       產(chǎn)生污染的工序，布置在靠近回、排風(fēng)口的位置。

(6)       潔凈室的設(shè)備及家具采用光滑、不容易起塵的材料。

四、潔凈室日常管理和維護(hù)原則

1.       潔凈室有人員進(jìn)入，潔凈度就會(huì)隨之而改變。人的外層皮膚不斷地向四周環(huán)境釋放粒子，之所以發(fā)生這一情況，是由于外皮細(xì)胞連續(xù)不斷地被新細(xì)胞替換。服裝與首飾等的摩 擦，會(huì)增加外皮釋放的粒子數(shù)量。由于人員工作時(shí)會(huì)有更多的活動(dòng)，所以釋放的粒子數(shù)量也就隨著增加。

2.       人污染發(fā)生器，因?yàn)椴豢赡馨讶送耆芊庠谖⑦^(guò)濾器中，也不可能給人塑造一個(gè)完整的空氣動(dòng)力學(xué)的形狀，所以人總是對(duì)周圍的環(huán)境產(chǎn)生影響。在污染控制領(lǐng)域，化妝品常常 會(huì)造成問(wèn)題。所以，潔凈室一般不允許人員使用化妝品。

3.       受控潔凈區(qū)及潔凈室都是禁止吸煙的。即使停止吸煙后，粒子仍會(huì)存留在氣管和肺中，并不停地從人體內(nèi)向周圍空氣中散發(fā)。這就意味著吸煙的人是一個(gè)強(qiáng)大的粒子產(chǎn)生器。

4.       服務(wù)與維修人員的活動(dòng)也會(huì)降低潔凈室的潔凈度，克服這個(gè)問(wèn)題有兩種方法：一是將所有需要維修的物件全部放置到潔凈室外的服務(wù)區(qū)；二是如果設(shè)備無(wú)法移出潔凈室，就在 潔凈室內(nèi)進(jìn)行維修，但要求維修工作保持在最低程度。對(duì)進(jìn)入潔凈室的服務(wù)人員，特別是那些從潔凈區(qū)之外進(jìn)人潔凈室的人員，都應(yīng)按正確的步驟進(jìn)行培訓(xùn)，以將污染可能降至最低。 氣流方式以及工藝產(chǎn)生又?jǐn)U散開(kāi)來(lái)的污染物，會(huì)影響工藝生產(chǎn)的結(jié)果。

5.       為保證人員、生產(chǎn)工藝與潔凈室之間的有效互動(dòng)，既需要訓(xùn)練有素的人員，又需要潔凈室的物流記錄，還需要寬敞的存儲(chǔ)區(qū)、寬大的擺放位置，及有序的潔凈設(shè)備存放區(qū)、寬敞的氣閘和更衣室。

五、潔凈室和潔凈區(qū)工作指南

（一）  一般要求

1.     注重手、指甲、臉部的清潔衛(wèi)生。人員衛(wèi)生極其重要。

2.      精心挑選設(shè)計(jì)精良的潔凈服裝系統(tǒng)，并以正確的方式穿著，以保證其整體的防護(hù)性能。

3.      進(jìn)人潔凈室前必須清洗眼鏡并加以消毒，眼鏡的例行清洗很容易被忘記。

4.      應(yīng)盡量保持部件與工具潔凈。

5.      工作只能在潔凈的表面上進(jìn)行。

6.     禁止吸煙或使用鼻煙。與不吸煙者相比，吸煙者或使用鼻煙者會(huì)向空中多釋放出幾 百萬(wàn)個(gè)粒子。

7.      潔凈室內(nèi)不得梳頭，甚至不能碰頭發(fā)。

8.      室內(nèi)一般不允許使用化妝品。所有化妝品都有粒子附著在皮膚上。如果說(shuō)話、咳嗽、打噴嚏、觸摸一件物品，這些粒子就會(huì)從皮膚上掉落下來(lái)而成為污染物。

9.      禁止使用指甲油。因?yàn)橹讣子捅戎讣子?，時(shí)間長(zhǎng)了就會(huì)出現(xiàn)裂痕，塵埃與微生物就有可能藏身其中，并到處傳播。

10.     室內(nèi)禁止佩戴首飾及手表。因?yàn)樗鼈冸y以清洗，并可能造成污染。

11.     潔凈室內(nèi)禁止吃喝，禁止咀嚼口香糖或糖果。

12.     不能把潔凈服提來(lái)提去，人員不能觸摸或翻動(dòng)潔凈服。

13.     要避免一切不必要的活動(dòng)。增加身體的活動(dòng)會(huì)增加體表散發(fā)的粒子。人員不必要的活動(dòng)會(huì)使周圍空氣形成渦流。

（二）  人員衛(wèi)生要求

1.     每個(gè)人員應(yīng)對(duì)自己個(gè)人的清潔衛(wèi)生負(fù)責(zé)。

2.    人員是潔凈生產(chǎn)區(qū)主要的污染源之一。從人體脫落的表皮細(xì)胞是“死”粒子，但是 常常會(huì)沾有細(xì)菌及其他微生物，因此人員要避免接觸設(shè)備和產(chǎn)品。

3.    除定期進(jìn)行盆浴或淋浴外，還應(yīng)定期洗頭。

4.       手是一大污染源，手是將污染物從一個(gè)地方傳播到另一個(gè)地方的罪魁禍?zhǔn)字弧?/span>

5.      口腔也是一個(gè)主要的污染源，因此好的口腔衛(wèi)生至關(guān)重要。

（三）  與人相關(guān)的污染風(fēng)險(xiǎn)因素

1.     人員的選擇。

2.      人員的教育與培訓(xùn)。

3.      潔凈室的安全要求。

4.      人員的行為和人員衛(wèi)生。

5.      人員健康狀況。

6.      進(jìn)人潔凈室最低數(shù)量人員。

7.      最大占用程度（最大允許人員數(shù)量）。

8.      進(jìn)出規(guī)則。

9.       人流進(jìn)出潔凈室的通道。

（四）潔凈室工作一般規(guī)定

每個(gè)潔凈室必須有各自文件形式的規(guī)定及工作步驟。下面提到的一般性規(guī)定，適用于所 有的潔凈室，而不專門考慮在某一特定潔凈室內(nèi)進(jìn)行的特定工作步驟的具體特點(diǎn)。

1.     潔凈室內(nèi)只能有必要人員。室內(nèi)人員越多，污染水平越高。

2.      只允許經(jīng)過(guò)培訓(xùn)的人員在潔凈室工作，只有具備特定工作所需技能的人員，才允許進(jìn)人潔凈室。

3.      不允許工作人員將任何可能產(chǎn)生污染的東西帶人潔凈室。只有潔凈室內(nèi)工作所必須的物品，才允許帶人并且要采取防污染措施。

潔凈室內(nèi)不允許有下述物品：

(1)       食品、飲料、糖果、口香糖。

(2)       瓶瓶罐罐（非用品）。

(3)       香煙、煙斗、鼻煙。

(4)       收音機(jī)、唱片機(jī)、袖珍錄音機(jī)。

(5)       用木材、橡膠、紙、皮革、棉花及其他天然材料制成的物品。

(6)       非潔凈室專用紙，包括報(bào)紙、雜志、書(shū)籍、紙巾。

(7)       鉛筆、橡皮及可釋放粒子的書(shū)寫(xiě)用品，比如纖維筆。

4.     須隨手關(guān)門。開(kāi)門會(huì)使室內(nèi)壓力降低，這會(huì)造成潔凈室氣流的不良運(yùn)動(dòng)。

5.      開(kāi)關(guān)門的動(dòng)作都要慢?？焖訇P(guān)門會(huì)增加從潔凈程度較低區(qū)域流人潔凈室的空氣量。為控制開(kāi)關(guān)門的速度，可以在門上安裝閉門器或彈簧。

6.      通過(guò)氣閘的兩扇門時(shí)，只有在第一道門完全關(guān)閉后，再打開(kāi)第二道門。所謂的聯(lián)鎖裝置就是使兩道門不能同時(shí)打開(kāi)。

7.      不通過(guò)更衣室就無(wú)法進(jìn)人潔凈室。更衣室不僅僅用于更衣，它是潔凈程度較低的外部區(qū)域與潔凈程度較高的內(nèi)部生產(chǎn)區(qū)域之間的緩沖區(qū)。不得使用像緊急出口一類的、可以從 生產(chǎn)區(qū)直接到達(dá)外部潔凈度較低區(qū)域的出口，這種出口可能會(huì)造成污染物從外部空氣到潔凈室內(nèi)部空氣間的迅速轉(zhuǎn)移。

8.     潔凈室應(yīng)永遠(yuǎn)保持清潔整齊。不整齊的潔凈室絕不會(huì)潔凈。

9.      相對(duì)生產(chǎn)工藝而言，人員應(yīng)處在正確的位置。比如，斜靠在產(chǎn)品上是不好的習(xí)慣，因?yàn)檫@會(huì)使?jié)崈舴系摹八馈绷Ｗ雍臀⑸锪Ｗ拥袈湓诋a(chǎn)品上及產(chǎn)品的周圍。在單向流中 工作的人員，不能直接坐在單向流中，因?yàn)檫@會(huì)使氣流將服裝內(nèi)松散粒子吹落到空氣中。對(duì)潔凈室中采用的工作方法，事先認(rèn)真作好計(jì)劃，才能使污染的風(fēng)險(xiǎn)降至最小。

10.    應(yīng)認(rèn)真考慮產(chǎn)品的移動(dòng)方法，遙控操作方法較可取，因?yàn)樗恍枰徇\(yùn)產(chǎn)品。潔凈室工作常常使用手套，但手套也可能成為污染源。

11-在潔凈室內(nèi)移動(dòng)物品時(shí)，不得使該物品與服裝或其他物品接觸。

12.    在靠近產(chǎn)品的位置工作時(shí)，應(yīng)避免講話。即使使用面罩，從鼻和嘴散發(fā)出的粒子仍有穿過(guò)或繞過(guò)面具而接觸產(chǎn)品的危險(xiǎn)。如果打噴嚏或咳嗽無(wú)法避免，就應(yīng)當(dāng)避開(kāi)產(chǎn)品。打完 噴嚏或咳嗽完之后，應(yīng)更新面罩。面罩應(yīng)能把嘴鼻都罩住。

13.    避免接觸潔凈室的表面。即使?jié)崈羰冶旧硎菨崈舻模瑵崈羰覂?nèi)的表面和設(shè)備表面仍可能是受到污染的。戴著手套的手要離開(kāi)潔凈服，以降低污染手套的危險(xiǎn)。

14.     應(yīng)定期清洗潔凈室手套，以減少接觸和傳播污染物的風(fēng)險(xiǎn)。手套清洗可以使用經(jīng)過(guò)

過(guò)濾的70%濃度的乙醇或異丙醇。這兩種酒精都可以使用，因?yàn)樗鼈儞]發(fā)后均無(wú)殘留物。

15.      潔凈室使用的抹布只能用一次或只能按事先定好的次數(shù)使用，并應(yīng)在用完以后拋棄。用抹布進(jìn)行清潔時(shí)，應(yīng)使用擺動(dòng)幅度大而直的動(dòng)作，動(dòng)作與動(dòng)作之間沒(méi)有重疊。

16.      在潔凈室工作，應(yīng)使用平穩(wěn)、認(rèn)真考慮好的動(dòng)作。快速凌亂的動(dòng)作會(huì)使室內(nèi)懸浮粒子濃度大大增加。

17.      留在潔凈室內(nèi)的產(chǎn)品應(yīng)放在密封柜中或放在瓶?jī)?nèi)，以使物品或產(chǎn)品與污染物接觸的風(fēng)險(xiǎn)降至最小。最好的辦法是將其保存在層流工作臺(tái)或安全工作臺(tái)中。

18.      廢棄的物品應(yīng)放人專門設(shè)計(jì)的容器內(nèi)，然后定期移出室外。

19.      應(yīng)使用合適的方法，對(duì)潔凈室進(jìn)行潔凈，有的情況下還要對(duì)潔凈室進(jìn)行消毒。

20.      進(jìn)人潔凈室的人必須知道他的責(zé)任，并受過(guò)各種潔凈室專業(yè)技能的專門培訓(xùn)，懂得潔凈室內(nèi)所有系統(tǒng)的功能。

21.      發(fā)生重大事故時(shí)，比如潔凈室內(nèi)外發(fā)生火災(zāi)、爆炸、斷電等，所有人員應(yīng)快速有序地行動(dòng)。出現(xiàn)緊急情況，比如打破了有毒的或無(wú)毒的材料，有個(gè)別員工不適，或其他類似情 況等，員工都應(yīng)知道應(yīng)如何采取行動(dòng)，并保持鎮(zhèn)定。

22.      進(jìn)入潔凈室的人員，必須對(duì)其穿著的潔凈服有足夠的認(rèn)知。

23.      所有在潔凈室工作的人員，不論其工作內(nèi)容如何，必須穿著適當(dāng)?shù)臐崈羰曳b。

24.      用于無(wú)菌生產(chǎn)的潔凈室滅菌工作服，未經(jīng)洗滌和再滅菌不得再次使用。

25.      在滅菌區(qū)工作的人員，必須完全了解并遵守各種滅菌、消毒步驟。

26.      在潔凈室工作的人員，不得返回氣閘室。

27.      在氣閘室中，應(yīng)放有塑料袋，可將潔凈服放人袋中以便隔離和運(yùn)輸。這樣，就可以將用過(guò)的潔凈服輸送到洗滌區(qū)，而沒(méi)有污染產(chǎn)品或人員的危險(xiǎn)。

28.      從整個(gè)系統(tǒng)的舒適性和有效性出發(fā)，決定一次可進(jìn)入氣閘室人員的數(shù)量。

29.      錢包、手袋等個(gè)人物品不得帶人潔凈室或氣閘室。

30.      身體不適的人員，特別是腹部、鼻、喉嚨不適者，不應(yīng)進(jìn)人潔凈區(qū)。

31.      所有與潔凈室外人員的語(yǔ)言溝通，全部都要通過(guò)內(nèi)線電話或內(nèi)部通訊系統(tǒng)進(jìn)行。決不能把氣閘室和通道當(dāng)成潔凈室與生產(chǎn)區(qū)外溝通的通道。

32.      潔凈室內(nèi)禁止使用化妝品，禁止佩戴戒指、首飾和表。

33.      將量杯、燒瓶及其他用品帶人潔凈室前，必須按照既定步驟進(jìn)行清潔與滅菌。

34.      潔凈室內(nèi)只能使用長(zhǎng)纖維制作的抹布，目前使用最廣泛的是合成材料抹布。傳統(tǒng)的家用拖布、刷子及其他物品，決不能用于潔凈室，潔凈室要用一次性無(wú)塵布、無(wú)塵紙、一次 性帽子及口罩。

六、潔凈區(qū)衛(wèi)生操作流程及操作注意事項(xiàng)

進(jìn)人潔凈區(qū)時(shí)必須嚴(yán)格按照更衣程序進(jìn)行更衣、換鞋（不同區(qū)域的鞋子按規(guī)定擺放在相應(yīng)的位置上）洗手消毒穿潔凈上衣和褲子、鞋套（先上后下），戴口罩（穿戴完畢 后，在鏡子面前整理著裝，確保頭發(fā)、胡須和里邊的衣服不外露）?-進(jìn)人緩沖間，手部消毒潔凈區(qū)。

進(jìn)出潔凈區(qū)時(shí)，應(yīng)隨手關(guān)門，不能同時(shí)打開(kāi)連通緩沖間和潔凈級(jí)別不同的通道，以免影響潔凈區(qū)內(nèi)潔凈空氣的流通方式。在潔凈室工作時(shí)避免大聲喧嘩，禁止打鬧嬉戲；操作應(yīng)輕 拿輕放，稱量物料須第二人復(fù)核，物料稱量配置后及時(shí)清理工作臺(tái)面，隨時(shí)保持工作區(qū)域的

衛(wèi)生清潔與整潔。

要加強(qiáng)對(duì)生產(chǎn)設(shè)備的養(yǎng)護(hù)工作，適時(shí)對(duì)設(shè)備轉(zhuǎn)動(dòng)部件進(jìn)行潤(rùn)滑，進(jìn)行電路檢查和易磨損部件檢查更換等，禁止對(duì)設(shè)備亂敲亂打或故意損壞設(shè)備。生產(chǎn)用的工器具和清潔用具應(yīng)分類 使用，定點(diǎn)存放。清潔用具、抹布不能交叉混用，使用后清潔干凈統(tǒng)一存放在潔具間。工器具應(yīng)集中在規(guī)定位置擺放，使用后清潔干凈及時(shí)放回原來(lái)位置上，時(shí)刻保持生產(chǎn)區(qū)域的整潔 有序。生產(chǎn)使用的各類記錄應(yīng)在崗位明顯位置放置并分類，便于工作人員及時(shí)記錄并進(jìn)行復(fù)核，生產(chǎn)結(jié)束后，記錄由崗位專人整理，負(fù)責(zé)人審核后交由相關(guān)部門人員存檔。

七、某電子企業(yè)保潔服務(wù)實(shí)例

某公司為某微電子企業(yè)做保潔服務(wù)，服務(wù)實(shí)際操作的部分內(nèi)容如下：

該公司把潔凈級(jí)別較高的區(qū)域稱作特殊區(qū)域，特殊區(qū)域有：黃光區(qū)、灰區(qū)、一般潔凈區(qū)。特殊區(qū)域需要做的保潔服務(wù)工作內(nèi)容與日常保潔的內(nèi)容基本相同，但是專業(yè)儀器不讓保 潔員管和動(dòng)。

其中，黃光區(qū)對(duì)人的眼睛有刺激作用，所以在工作時(shí)間上有特殊的待遇。進(jìn)人黃光區(qū)持續(xù)時(shí)間約lh后，要休息0.5h，并佩戴專業(yè)眼鏡。

對(duì)保潔員沒(méi)有特殊的要求，但是必須按照甲方編制的管理文件培訓(xùn)合格后，方能上崗進(jìn)入潔凈區(qū)工作。

控制潔凈區(qū)衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)要求極高，必須通過(guò)空氣測(cè)量?jī)x評(píng)定達(dá)標(biāo)狀況。為了確保潔凈區(qū)達(dá)到潔凈標(biāo)準(zhǔn)，保潔操作流程、操作工藝、保潔員工操作動(dòng)作的特殊規(guī)定由甲乙雙方共同制 定，適應(yīng)潔凈區(qū)的要求并能具體實(shí)施。

比如：潔凈室的地面要求員工用無(wú)塵布蹲著一塊一塊地擦，而且員工必須是往后退著擦，地面材料為環(huán)氧樹(shù)脂；潔凈室每天進(jìn)行消毒，并規(guī)定了消毒的頻次和時(shí)間；設(shè)備管道都 必須定期保潔，不能有死角。

潔凈區(qū)和普通區(qū)域不同，按潔凈區(qū)的防靜電、防塵專業(yè)要求，潔凈室有專用吸塵器、專用服裝，不得用普通抹布，要用專用的一次性無(wú)塵布、無(wú)塵紙進(jìn)行保潔操作，員工戴一次性 的專用帽子及口罩。

員工操作流程記錄、檢查記錄、交接班記錄指定專人管理，存放在指定地點(diǎn)。

由以上部分內(nèi)容就可看出微電子企業(yè)的保潔要求有多么嚴(yán)格。