干燥工藝

漂洗完成之后，洗凈的物體表面仍附著一部分溶劑，干燥工藝是通過(guò)汽化的方法使溶劑去除獲得清潔干燥表面的過(guò)程。

為使干燥順利進(jìn)行通常把洗凈的物體在高溫干燥環(huán)境中放置一段時(shí)間使其自然干燥。在工業(yè)清洗中為了提高干燥速度，往往通入溫和的干燥熱風(fēng)進(jìn)行干燥。干燥的速度主要由送入的空氣溫度、濕度、風(fēng)速以及清洗對(duì)象表面溫度等條件決定。如使用易燃、安全性差的溶劑作清洗劑時(shí)，使用的通風(fēng)空氣溫度有一定限制。

清洗物體表面溫度越高，干燥效率越高，對(duì)熱傳専效率比較低的清洗物體，漂洗工藝中溫度保持較高對(duì)后續(xù)干燥工藝是有利的。提高風(fēng)速有利于溶劑從清洗物體表面擴(kuò)散和汽化蒸發(fā)。為了使清洗物體各個(gè)表面都受到均勻的風(fēng)力作用，應(yīng)該使清洗物體之間保持有一定的間隔，用氣刀狀噴嘴形成的強(qiáng)風(fēng)速進(jìn)行干燥，容易獲得良好的效果。

對(duì)高沸點(diǎn)清洗溶劑或殘存在清洗物體表面狹窄縫隙中的溶劑進(jìn)行干燥時(shí)，使用真空干燥的方法效果較好。由于溶劑汽化時(shí)吸熱會(huì)使清洗物體表面溫度下降而不利于蒸發(fā)，因此在干燥之前應(yīng)盡可能提高清洗物體的溫度。

清洗干燥階段應(yīng)注意的問(wèn)題

用水做漂洗劑時(shí)，在干燥階段最易出現(xiàn)的問(wèn)題是在清洗物體表面留下水斑。

由于水是價(jià)格便宜、溶解力強(qiáng)而且分散力強(qiáng)的液體，因此常被用作漂洗液。但水在干燥過(guò)程中會(huì)出現(xiàn)一些問(wèn)題，首先因?yàn)榉悬c(diǎn)較高（100°C）而且汽化熱大，所以干燥脫水時(shí)要耗費(fèi)較多能量和較長(zhǎng)時(shí)間。

漂洗用水中往往溶解有一些雜質(zhì)，而水有很大表面張力。所以當(dāng)水在清洗物體表面慢慢蒸發(fā)時(shí)，隨著干燥的進(jìn)行逐漸形成圓球狀水滴并逐漸縮小半徑，當(dāng)最后水滴完全蒸發(fā)后就會(huì)在物體表面留下環(huán)狀的水斑殘跡。水斑是由溶在水中的雜質(zhì)在水滴蒸發(fā)濃縮過(guò)程中殘留下來(lái)的痕跡。

在工業(yè)精密清洗中不希望有水斑生成，因此要用潔凈度高的純水或超純水做漂洗用水，但純水仍含有微量雜質(zhì)，還有生成水斑的可能。為解決水斑形成的問(wèn)題，可采用風(fēng)扇一刮刀狀風(fēng)壓的方法進(jìn)行干燥或采用離心力使表面附著的水被甩掉。

當(dāng)清洗半導(dǎo)體硅片等平板狀物體時(shí)可沿著與水平面垂直方向把浸在水中的物體慢慢拉上來(lái)離開(kāi)水面并同時(shí)用熱風(fēng)進(jìn)行干燥的方法。這種上拉干燥法可防止水滴在表面凝聚，阻止水斑生成很有效。為防止干燥過(guò)程形成水斑，也可以水漂洗后用低沸點(diǎn)有機(jī)溶劑把水置換去除再進(jìn)行干燥。

氟氯燒蒸氣清洗中的干燥處理

在有機(jī)溶劑中氟氯坯CFC-113是最適合用于蒸氣清洗的溶劑。通常采用的工藝如下。

（1）蒸氣清洗一加壓噴射一蒸氣干燥

在蒸氣清洗槽中用CFC-113溶劑作清洗劑。利用被加熱至沸騰產(chǎn)生的蒸氣在冷工件表面冷凝，對(duì)工件表面油污產(chǎn)生浸洗作用使工件進(jìn)行初步清洗。然后用蒸館回收的潔凈液體CFC-113溶劑在適當(dāng)加壓條件下對(duì)工件進(jìn)行噴射清洗。最后把噴射清洗后的工件放在CFC-113蒸氣中再次清洗，并使工件溫度升高達(dá)到干燥目的。

（2）熱浸一冷漂一噴洗一氣洗干燥

首先將清洗物體浸入加熱至沸騰的CFC-113溶劑中進(jìn)行清洗，使工件表面大部分油污被洗掉，然后浸入清潔的溫度較低的CFC-113溶劑中漂洗。漂洗之后再用潔凈的CFC-113溶劑噴洗以去除殘余的污垢，最后再用蒸氣清洗并干燥。

（3）超聲波浸洗一噴洗一氣洗干燥

首先在帶有超聲波裝置的CFC-113浸洗槽中處理，在超聲波的強(qiáng)大空化作用下使頑固附著的污垢得以去除。再用潔凈的CFC-113溶劑進(jìn)行噴洗，最后放入蒸氣清洗槽中進(jìn)一步清洗并干燥。

由以上工藝可以看出，氟氯炷蒸氣清洗在油垢不多的干燥階段使用有較好效果。如果選擇替代清洗劑，也要盡量達(dá)到同樣、甚至更好的效果。